近日，我司自管基金投资企业合肥御微半导体技术有限公司（以下简称“御微半导体”）首台Halo-100 掩模基板缺陷检测产品成功发运，并顺利交付国内先进掩模厂。

御微半导体自主研发的Halo-100设备作为御微“掩模全生命周期质量控制”产品线的第二款产品，凭借御微多年来在掩模检测领域积累的丰富经验和技术储备，以高精度光学系统、高稳定性运动台系统以及高洁净度环控与传输系统为基础，结合御微专有的算法和软件系统，成功实现了针对掩模基板(blank)缺陷检测的需求，并将掩模检测的应用领域拓展至掩模厂来料检和掩模基板厂全制程控制检。 

御微半导体Halo-100掩模基板缺陷检测产品

我司于2023年初通过合肥国正多泽产业投资合伙企业（有限合伙）投资该企业，另外，国正公司参股基金合肥石溪产恒二期、长三角数字基金共同助力御微半导体，未来，国正公司将充分利用资源，为御微半导体提供持续的产业赋能与支持，护航企业稳步发展，推动半导体产业链快速发展。